ASML heeft in 2024 een belangrijk onderdeel voor chipmachines verkocht aan een Chinees militair onderzoeksinstituut. Deze leveringen roepen vragen op over de effectiviteit van de Nederlandse exportcontroles, hoewel de overheid aangeeft dat niet alle onderdelen een vergunning vereisen. Dit blijkt uit onderzoek van Nieuwsuur. Het onderdeel werd geleverd aan het 24e Onderzoeksinstituut van de China Electronics Technology Group Corporation (CETC), een staatsentiteit die door China wordt gezien als een militair-industriële groep die geavanceerde defensietechnologie ontwikkelt voor raketsystemen en drones. Het instituut in Chongqing heeft volgens eigen informatie het enige nationale laboratorium voor militaire computerchips in China en werkt mee aan het Chinese ruimtevaartprogramma Shenzhou en het Tiangong-ruimtestation.

Daarnaast leverde ASML op 5 februari 2024 een Deep UV lithografiemachine (DUV) aan de Shenzhen International Quantum Academy, die onderzoek doet naar quantum sensing, een techniek voor zeer nauwkeurige metingen. De MIVD waarschuwt voor Chinese interesse in quantum sensing, dat militair kan worden ingezet, bijvoorbeeld voor kwantumradars om onderzeeboten te detecteren. Rem Korteweg van Instituut Clingendael benadrukt dat dit gevoelige technologie betreft. Het type DUV-machine dat het instituut ontving, kon Nieuwsuur niet vaststellen, en het is onduidelijk of ASML vooraf toestemming van het ministerie van Buitenlandse Zaken nodig had. ASML wil niet reageren op individuele klanten, maar stelt zich aan alle wet- en regelgeving te houden. Het bedrijf zegt dat de onderdelen die Nieuwsuur noemt, oudere, generieke onderdelen zijn die niet vergunningplichtig zijn. Volgens ASML betreft het oude technologie die niet de meest geavanceerde chips kan produceren. Het ministerie van Buitenlandse Zaken noemt export naar de Chinese defensie-industrie "om meerdere redenen onwenselijk". De AIVD en MIVD waarschuwen dat China de grootste bedreiging vormt voor de Nederlandse economische en kennisveiligheid. Toch geldt niet voor alle hoogtechnologische goederen een vergunningplicht. Het ministerie stelt dat alle onderdelen nodig zijn voor het functioneren van een machine, maar niet alle onderdelen een cruciale rol hebben. Voor producten zonder vergunningplicht is er geen controle. Uit het onderzoek blijkt verder dat ASML in 2024 producten verkocht aan chipmaker GTA Semiconductor, onderdeel van CEC, dat door China als een militair-industriële groep wordt gezien. Ook chipmakers Si En (Qingdao) en SMBC, onderdeel van SMIC, waren klant bij ASML. Deze bedrijven worden door de Amerikaanse overheid in verband gebracht met leveringen aan de Chinese krijgsmacht en staan op Amerikaanse sanctielijsten. Nieuwsuur kon niet vaststellen in welke eindproducten de chips belanden die met de ASML-machines worden gemaakt.